以独创的高纯度化技术和精准的分析控制方法达到不纯物1ppb以下的高标准

优势：

• 对铜布线的影响较小。

• 对层间绝缘膜的损伤较小

• 有加强表面活性的效果

• 3价有机羧酸，性质稳定

• Cu、Ni等金属不纯物可以控制在1ppb以下